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MSX1200 X線検査装置:


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MSX1200N(E/L/D)型X線検査装置




操作が容易なマイクロフォーカスX線検査装置です。

安全構造で、漏洩線量は1マイクロシーベルト以下。

XYテーブルは自動位置制御可能です、テーチング機能で繰り返し作業が容易です。

X線管はクローズド式、ユニット交換式でメインテナンスが容易です。

X線照射角度を最大前後60度/左右30度(L型)までスイング可能です。

標準付属の解析ソフトで寸法測定や、3次元表示(L/D型)が可能です。

マニュピレーターで小型部品を360度視点での観察も可能です。

デジタルI.I管使用のD型では、より鮮明な映像が得られます。

 


動作の概要

MSX1200型は、X線焦点5ミクロンの高解像度型です、微細なサンプルを鮮明画像で捕らえます。
いずれも、X線照射時間は積算カウンターで管理できます、X線管は5000時間の動作保証が付きます、その他は10000時間保証となります。

XYテーブルは電動式で、装置前面の窓から基板を見ながら目的のBGAなど部品位置を決めることが出来ます。位置確認はレーザーポインターで行います。

X線撮像部は前後0〜60度、左右30度(L型/D型は前後〜度、左右30度)まで透視角度を傾斜させることが出来ます。(XYテーブルは固定です)

安全機能は万全です、インターロック機能により、万一X線使用中に装置の扉を開けるとX線発生器は停止します、X線照射中は装置の上部にあるX線照射ランプが点滅して知らせます。

マニュピレータを使用すると小型部品を360度回転させながらX線検査が出来ますが、同時に透視傾斜角度も変化することも可能です、組み合わせるとより詳しい透視データが得られます。

レーザービーム


扉窓

 

 

msx1200


MSX1200N型X線検査装置


X線検査の原理

X線は波長の短い電磁波で、原子と原子の間を透過することが出来ます、(可視光線の波長は数μm程度ですが、X線の波長はÅ領域です)そして、その透過力は物質の密度に版比例します。 X線は人体細胞を破壊する生理作用を有していますので、わが国では労働安全衛生施工令で管理されます、そしてX線従事者の健康障害を防止するよう具体的な措置方法が明文化されています。

当X線検査装置のX線漏洩量は、1マイクロシーベルト以下に設計されています、わが国の法令では、放射線の被ばく限度を実効線量で100mSv/5年と定めていますから、仮に週40時間の作業者が年間50週連続して、1マイクロシーベルトの放射線を被ばくしたとして、年間の被ばく量は2mSvとなり、それを5年間続けた場合10mSvとなります、また放射線の被ばく量は距離の自乗に反比例しますが、当装置のX線漏洩量単位は1μSv/h-cmですから、距離が離れた場合、飛躍的に被ばくの量は減少します。

MSX1200型X線検査装置の放射線漏洩量は、極めて軽微なもので、しかもX線を直接人体へ照射する装置でもありません、装置は箱状で、なまりの板で被われており、箱の外への漏洩は、1μSv/h/cm以下であり、0.5mSv/3月以下です、これは労働安全衛生規則の88条に基づいて、設置30日前までに、所轄の労働基準監督署への届出が義務付けされておりますが、装置の使用者に特別な資格は不要です。 家庭にあるカラーテレビ(ブラウン管式)でも数μSv/h程度の放射線がでており、日常の大気中でも、類似の放射線が飛び交っておりますから、当装置の放射線漏洩量が問題になるようなことはありません。


測定サンプル画像

半田付け不具合サンプル画像:

 

MSX1200E/Lで測定したBGAの画像サンプルです、映像倍率は33倍、管電圧55KV、管電流22マイクロA、透視角0での撮像イメージで半田付けの不具合を観察し、イメージを倍率140倍で確認しているものです。


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拡大率33倍---------------拡大率140倍




BGAオープン時のサンプル画像:


MSX1200Lで管電圧55KV、管電流22マイクロA、透視角0、倍率40倍で透視したイメージで、オープンエラーを確認し、イメージアングル60度、管電圧57KV、管電流22マイクロAで、再測定したBGAのオープンエラー

 

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拡大率40/角度0--------------角度60度






 


BGA欠落時のサンプル画像:


MSX1200Lで管電圧55KV、管電流22マイクロA、透視角0、倍率33倍で透視したイメージで、BGAの欠落を確認し、イメージアングル50度、管電圧55KV、管電流22マイクロAで、再測定したBGAの欠落イメージ。

 

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拡大率33/角度0--------------角度50度






 



BGA計測:


MSX1200E/Lで管電圧55KV、管電流22マイクロA、透視角0、倍率53倍で透視したイメージで、BGAを自動モード、および手動モードで測定します。

 

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BGA自動計測--------------BGA手動計測






 


 

 

GAボイドチェックと計測:


MSX1200E/Lで管電圧52KV、管電流22マイクロA、透視角0、倍率78倍で透視したイメージで、BGAのボイドを確認、ボールのサイズとボイドを計測.

 

 

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BGAボイド拡大率78----------------BGAボイド計測

 

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さらに管電圧60KV/映像倍率140倍で計測


ワイヤ流れの計測:


MSX1200E/Lで管電圧50KV、管電流22マイクロA、透視角0、倍率78倍で透視したイメージで、ワイヤー流れを計測。 右はぬれボイドの計測で、管電圧62KV、管電流22マイクロA、拡大率53倍での透視イメージです。

 

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ワーヤー流れ--------------ぬれボイド

 


孔ずれ計測:


MSX1200E/Lで管電圧45KV、管電流22マイクロA、透視角0、倍率23倍で透視したイメージで、孔ずれのイメージです。真ん中は4画面を表示しています、右の画面は3D表示(3次元表示)です。

 

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孔ずれイメージ-----------------4画面表示--------------------3次元表示

 

 

3次元表示:

MSX1200L/Dでは、前後、左右へ透視角度を振らせることが出来ますので、3D立体イメージを表現することが出来ます。

 

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3D表示

 




外径寸法図

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MSX1200N(E/L/D )(1000W x 16300H x 1080D mm)



仕様

項目 仕様
MSX1200N-E MSX1200N-L MSX1200N-100E/L
基板サイズ 350W x 460D mm
XYテーブルストローク 200Y x 200X mm
XYテーブル駆動 電動
XYテーブルサイズ 350W x 460D mm
タッチパネル式 XYテーチング可能
X線管電圧 30---90 Kv 30---100KV
X線管電流 40 micro A 200μA
焦点サイズ 5 micron m
最大出力   20W
X線管 透過型エンドウインドウタイプ
冷却方式 密閉式 強制空冷
撮像機能 垂直透視 3次元透視
傾斜角度

0度

F/B:0--50度 E:0 / L: F/B:0--50度
X線漏洩線量 1μSv/H以下
X線防護方式 X線防護特殊キャビネット
透視拡大率

12--90倍

最大720倍 GXビジョン

13--180倍

最大1440倍 GXビジョン

E/L:異なります
検出器 東芝E5881JCA1-2N/NU 東芝E5877JCA1-2N/ND イメージインテシフアイアE:4inch L:4/2inch
出力寸法 出力像20mm / 40万画素
入力視野 4インチ 4インチ/2インチ E:4inch / L:4/2inch
カメラ 1/2インチCCD 40万画素
CPU セルロン440 2.0GHz
メモリ 2GB
ストレージ HDD 160GB / DVD
OS Windows 7 Professinal
LCD 17型 1280x1024
画像処理機能 GxVision
画質改善(アベレージング/積算)
コントラスト/ブライト調整
4面/16面表示
3次元表示/白黒反転/画像拡大(1〜8倍)
画像計測(GxVision) X/Y 2点間距離
楕円/円/BGA/ボイド 面積
ワイヤー流れ/丸孔ずれ
統計処理/キャリブレーション、画像ロード、保存、印刷
レーザーマーカー レッドマーカー
画像ボード リンクス 銀河M2(NTSC)
電源 AC100V 1000VA
本体サイズ 1085Wx1600Hx1100Dmm
重量 約600Kg

改良などの理由により、概観、仕様が変更される場合があります。


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