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MSX500型X線検査装置

msx500

卓上型で操作が容易なエコノミーなＸ線検査装置です。

安全構造で、漏洩線量は1マイクロシーベルト以下。

BGAリワーク後のハンダ付け検査に最適です。

Ｘ線管は、ユニット交換式でメインテナンスが容易です。

Ｘ線照射角度を最大45度までスイング可能機種も選べます。（MSX500SW型）

大型基板対応型(400x510mm)も選べます。(MSX500(L)

動作の概要

MSX500型X線検査装置は、インバーター直流式X線源を搭載、最長約1時間の連続透視が可能です、X線照射時間は積算カウンターで管理できます、1000時間の動作保証が付きます。

XYテーブルは電動式で、装置前面の窓から基板を見ながら目的のBGA位置を決めることが出来ます、位置確認はレーザーポインターで行います。

安全機能は万全です。インターロック機能により、万一Ｘ線使用中に装置の扉を開けるとX線発生器は停止します。X線照射中は装置の上部にあるX線照射ランプが点滅して知らせます。

レーザービーム

扉窓

X線検査の原理

X線は波長の短い電磁波で、原子と原子の間を透過することが出来ます、（可視光線の波長は数μｍ程度ですが、X線の波長はÅ領域です）そして、その透過力は物質の密度に版比例します。X線は人体細胞を破壊する生理作用を有していますので、わが国では労働安全衛生施工令で管理されます、そしてＸ線従事者の健康障害を防止するよう具体的な措置方法が明文化されています。当Ｘ線検査装置のＸ線漏洩量は、１マイクロシーベルト以下に設計されています、わが国の法令では、放射線の被ばく限度を実効線量で100mSv/5年と定めていますから、仮に週４０時間の作業者が年間５０週連続して、１マイクロシーベルトの放射線を被ばくしたとして、年間の被ばく量は2ｍＳｖとなり、それを５年間続けた場合10mSvとなります、また放射線の被ばく量は距離の自乗に反比例しますが、当装置のＸ線漏洩量単位は1μSv/h-cmですから、距離が離れた場合、飛躍的に被ばくの量は減少します。

MSX500型X線検査装置の放射線漏洩量は、極めて軽微なもので、しかもX線を直接人体へ照射する装置でもありません、装置は箱状で、なまりの板で被われており、箱の外への漏洩は、１μＳｖ/ｈ/ｃｍ以下であり、0.5mSv/3月以下です、これは労働安全衛生規則の88条に基づいて、設置30日前までに、所轄の労働基準監督署への届出が義務付けされておりますが、装置の使用者に特別な資格は不要です。　家庭にあるカラーテレビ（ブラウン管式）でも数μSv/h程度の放射線がでており、日常の大気中でも、類似の放射線が飛び交っておりますから、当装置の放射線漏洩量が問題になるようなことはありません。

測定サンプル画像

MSX500で測定したmBGA（1.27ｍｍピッチ）の画像サンプルです、はんだブリッジの様子が見えます、下の映像は、X線の透過力を上げて、ハンダボール内部のボイドを見たところです、映像のボイド径は0.2ｍｍ程度です。

コントロールパネル

MSX500

X線管電圧は、最大70Kvまで可変です、管電圧は高いほどX線は短波長となり、透過力が高まります。電流は3mA最大まで可変できます、電流が大きくなると画面は明るく映ります。

X線管は空冷式で連続1時間程度測定可能です、X線照射は必要の無いときはこまめにスイッチOFFとすることで、空冷され効率よく装置を使用することが出来ます。

右の画像は、7.0ｘ7.0mmCSPをMSX500で測定した画像です、0.5mmピッチのハンダボールがほぼ均等に見えます。

MSX500では映像倍率約30で画像をモニター上に写します、BGAの場合、ＸＹテーブルの移動で目的の画像を捉えます、捕らえた画像の調子を整え、静止画像に変換してエンハンス調整を行いセーブします、JPEGまたはBITMAPで保存が出来ます。

1.27ｍｍピッチＢＧＡボイド

7.0x7.0mmCSP0.5mmピッチ

MSX500SW型機の測定サンプル画像

MSX500SW、または、MSX500で測定したQFP(リードピッチ0.8ｍｍ）の画像です(右上図)。
MSX500SWで約30度スイングした場合に得られる画像サンプルです(右下図)。

MSX500SW

MSX500SWでは最大45度までX線透過角度を変化させることが出来ます、その他の仕様はMSX500と同様です。

QFP(0.8mmリードピッチ）

約30度スイング画像

外径寸法図

MSX500/MSX500SW共通（Ｌサイズ仕様本体は830Wx950Dx740H）

仕様

項目	MSX500	MSX500(L)	MSX500SW
基板サイズ	330x250mm max	400x510mm max	330x250 max
XYテーブルストローク	120Yx160Xmm	180Yx180Xmm	120Yx160Xmm
XYテーブル駆動	電動
XYテーブルサイズ	350x250mm	450x550mm	350x250mm
リモートコントロール	オプション		標準装備
X線管電圧	70Kv
X線管電流	3mA
焦点サイズ	0.8mm
冷却方式	空冷
傾斜角度	0度		0～45度
X線漏洩線量	1μSv/H以下
X線防護方式	X線防護特殊キャビネット
透視拡大率	約25倍（モニター上映像倍率）
検出器	CCD　1/2 インチ
PC	デスクトップ
CPU	2.4GHz
メモリ	256MHB
ストレージ	CD-RW, FDD3.5, HDD40GB
OS	Windows2000
LCD	17インチ
画像処理機能	画質改善
	エンハンス強調
	コントラスト調整
	ブライト調整
電源	AC100V 500VA		AC100V 800VA
本体サイズ	630Wx740Hx755Dmm	900Wx815Hx865Dmm	630Wx740Hx755Dmm
重量	約120Kg	約150Kg	約130Kg

改良などの理由により、概観、仕様が変更される場合があります。

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