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MSX9000DIII 断層撮影検査装置:


リワーク装置:
リワーク装置付属品:
関連機器:

MSX9000DIII型X線断層撮影式検査装置

 

 

特徴:


●画期的なラミノグラフイー式断層撮影で、高速1秒の撮影、検査を実現(高速1秒)
両面実装基板上の重なったBGAでも的確に測定、検査ができる。(焦点サイズ5ミクロン)
標準仕様のX線ゼネレーター使用で、低コストな断層撮影を実現。(価格他社の約1/3)
多層基板の検査が可能(任意のパターン位置を指定できます)。(市場初)

透過型(従来の)X線透視検査機能も持っています。(高付加価値)

低価格で操作が容易、作業現場向け。(低価格)

 


 


動作の概要


 MSX9000DIII型は、ラミノグラフイー理論に基づく画期的なX線断層撮影装置です。

 ラミノグラフイー方式は、X線の発生器、検出器、資料(検査品)の内、何れかの2要素を同期回転させ、特定の位置に焦点を合わせて、その位置の画像のみを取り出すものです。

 MSX9000DIIIMでは、資料を静止状態のまま、X線源と検出器を同期回転させて焦点位置を定めるもので、それらの公転に加えて、独自開発の、それぞれを自転させることで、高い精度のイメージ高速で切り取ることに成功しました。(計測時間1秒)

 公転の速度は1秒/回です、得られたデータをソフトで演算し出力させます、通常約1秒で測定を完了できます。

 使用するX線ゼネレータは密閉式マイクロホーカスです、検出器はフラット型標準品ですので、装置の製造コストが大きく下げられました、その上ランニングコストもとても低く抑えられます。

 

MSX9000DIII

 

spc

MSX9000DIII ラミノグラフイー理論

laminagraphy

 

X線検査の原理: 

 

 X線は波長の短い電磁波で、原子と原子の間を透過することが出来ます、(可視光線の波長は数μm程度ですが、X線の波長はÅ領域です)そして、その透過力は物質の密度に版比例します。 X線は人体細胞を破壊する生理作用を有していますので、わが国では労働安全衛生施工令で管理されます、そしてX線従事者の健康障害を防止するよう具体的な措置方法が明文化されています。

 当X線検査装置のX線漏洩量は、1マイクロシーベルト以下に設計されています、わが国の法令では、放射線の被ばく限度を実効線量で100mSv/5年と定めていますから、仮に週40時間の作業者が年間50週連続して、1マイクロシーベルトの放射線を被ばくしたとして、年間の被ばく量は2mSvとなり、それを5年間続けた場合10mSvとなります、また放射線の被ばく量は距離の自乗に反比例しますが、当装置のX線漏洩量単位は1μSv/h-cmですから、距離が離れた場合、飛躍的に被ばくの量は減少します。

 MSX2500L型X線断層撮影検査装置の放射線漏洩量は、極めて軽微なもので、しかもX線を直接人体へ照射する装置でもありません、装置は箱状で、なまりの板で被われており、箱の外への漏洩は、1μSv/h/cm以下であり、0.5mSv/3月以下です、これは労働安全衛生規則の88条に基づいて、設置30日前までに、所轄の労働基準監督署への届出が義務付けされておりますが、装置の使用者に特別な資格は不要です。 家庭にあるカラーテレビ(ブラウン管式)でも数μSv/h程度の放射線がでており、日常の大気中でも、類似の放射線が飛び交っておりますから、当装置の放射線漏洩量が問題になるようなことはありません。

 

測定サンプル画像:

 

double bga

 

 MSX2500Mで両面実装されたBGAを断層撮影します、Cは透視画像です、FP(焦点面)の位置をAポイントにした場合、Bポイントにした場合得られる画像をご覧ください。FPはテーブル面から高さ最大13mmまでの範囲で自由に設定できます。

 MSX2500Mでは、透視(従来のX線検査装置)機能も持っています、その場合、Cの画像が得られますが、部品が両面実装の場合、両方の画像が混在してしまいますので、測定ができません。 断層撮影に切り替えて、目的の画像が得られる位置で画像の焦点を合わせれば、その面での断層画像だけが切り取れます。

 X線管は密閉式透過型マイクロホーカスです、密閉管と解放管の長所を併せ持ち、寿命は3000時間以上が保証されます、X線照射は必要の無いときはこまめにスイッチOFFとすることで、効率よく装置を使用することが出来ます。

 検出器は、入力視野9.6x12.8mmのCCDカメラです、 寿命10000時間以上がほしょうされます。 X線管ともに標準市販品で構成されますので、メインテナンスが容易です、

 映像倍率約30倍です、このときの断面映像の解像度は25ミクロンとなります。10x10mmのCSPの場合、4回の断層撮影で全体の断層撮影が完了できます。

 XYテーブルは、ユニーバーサル式で各種サイズの基板に対応できます、測定するXY座標は、データ管理が可能です、自動スキャンニングが行えます。

 検査は標準データとの比較で自動判定させることもできます、判定は面積、濃度、位置の比較で行います、結果はGO-NGで表示され、の一覧表出力もできます。

 

A image

A面での:断層画像

 

b image

 

B面での:断層画像

 

double image

 

C:透視画像

 

自動検査のイメージサンプル

各種測定イメージサンプル

 

主要な機能

外観:

MSX9000DIII

1200W x 1150D x 1650H mm

 

tomo screen

断層撮影画面

 

Fluoro screen

透視撮影画面

 

 

 

 

 

 

仕様詳細

 

 

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