MS9000SE-BST型異型基板保持用爪冶具 MS9000シリーズのリワーク装置では、XレールにZ型溝があり、基板のエッジを保持しながら押さえる役目を果たします、基板が平行でない(異型基板)場合は、標準付属の保持用爪冶具を使用して外形に合わせて保持位置を調整し、基板をしっかりと保持します。 |
基板下側の支えピン冶具は、装置に標準装備されます、写真のようにXYテーブルの奥側を差込固定して、サポートピン位置の再現性を保つ工夫がされています。 |
MS9000SAN-XYテーブル
XYレールの任意の位置にピンレール保持台が取り付けられます、その上にピンレールを渡し、ネジロックして使用します、ピンはレールの上部からねじ込む方式で、基板までの高さを調整して抑えます。ピン位置は自由に調整が可能です。MS9000SANでは、加熱による基板の反り発生を最小限度に留める工夫がなされています、可能な限り、上反り防止冶具を使用せずに済むようなリワーク作業をお勧めします。 | ![]() MSC-01WARP型基板上反り防止冶具 |
改良などの理由により、概観、仕様が変更される場合があります。